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半导体产业链及相关设备简介

来源:undefined  作者:147小编   2023-12-20 阅读:8

半导体产品可细分为四大类:集成电路、分立器件、光电子器件和传感器。集成电路作为半导体产业的核心,占据半导体行业规模的八成以上,其细分领域包括逻辑芯片、存储器、微处理器和模拟芯片等,被广泛应用于 5G 通信、计算机、消费电子、网络通信、汽车电子、物联网等产业,是绝大多数电子设备的核心组成部分。

从产业链的角度看,半导体产业链涉及材料、设备等支撑性行业,芯片设计、晶圆制造和封测行业,半导体产品终端应用行业等。以集成电路为代表的半导体产品应用领域广泛,下游应用行业的需求增长是半导体产业快速发展的核心驱动力。半导体设备是半导体产业中的重要核心,在新建晶圆厂中,设备投资额占到总投资能达到80%以上。

半导体芯片制造过程复杂,前期须制备硅片,整个硅片制造过程包含多个步骤,首先将多晶硅提纯后得到单晶硅棒,经过磨外圆、切片得到初始硅片,之后再进行倒角、研磨、抛光、清洗和检测等工艺,最终得到可用于生产加工的硅片。期间主要设备包括单晶炉、滚圆机、切片机、倒角机、研磨机、抛光机、清洗设备和检测设备等。

IC设计完成之后,就进入到正式的芯片生产制造环节,具体分为晶圆制造(前道工艺)和封装测试(后道工艺)。晶圆制造过程是芯片制造最为核心的环节,晶圆制造中的七大步骤分别为热处理(氧化/扩散/退火)、光刻、刻蚀、离子注入、薄膜沉积、清洗、抛光。通常热处理、光刻、刻蚀、离子注入、薄膜沉积、清洗步骤需要重复进行若干次,之后进行 CMP 及金属化,最终还需要进行前道量测,只有量测合格的芯片方可进入到封装测试环节。其中,热处理(氧化/扩散/ 退火)工艺主要用到氧化炉、 扩散炉、退火炉;光刻工艺主要用到光刻机、 涂胶显影/去胶设备;刻蚀工艺主要用到刻蚀机;离子注入工艺主要用到离子注入机;薄膜沉积工艺主要用到PVD/CVD/ALD 设备;清洗工艺主要用到清洗机;抛光工艺主要用到 CMP 设备;量测则用到膜厚/OCD 关键尺寸量测设备、电子束量测设备等。

封装测试包括封装和测试两个环节,封装过程主要包括背面减薄、晶圆切割、贴片、引线键合、模塑和切筋/成型,需用到减薄机、切割机、贴片机、烤箱、引线键合机、注塑机以及切筋/成型设备等。封装结束后做最后的成品测试,主要用到测试机、探针台、分选机等。测试合格后的芯片将被应用于各下游领域。

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